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介绍一种在分步投影光刻机中,采用不等栅距光栅进行对准的系统。
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仿真系统包括目标特性及与红外场景有关的数据库、图像生成计算机、红外目标发生器、红外场景投影光学系统、飞行模拟器、仿真计算机。
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论文对显示系统光能利用效率、对比度等特性进行了充分分析,对Philip棱镜系统以及PBS偏振系统进行了优化和改进,获得了高性能的投影显示。
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